为了确保沿离子束传输路径的高真空条件，大部分气体体积需要由合金泵系统抽吸。由于大的气体体积和高的所需工作真空度，束线的真空系统将需要大的抽气速度。目前，用于中性束注入器的高抽速真空泵主要有两种，一种是低温泵，另一种是IHF型氟塑料合金泵。

  与低温泵相比，IHF型氟塑料合金泵具有成本低、结构简单、运行可靠、无磁场和高速旋转的机械部件、操作方便、易于维护等优点。